KMU-innovativ AtomLagenProzessierung: Anlagentechnologie-Chemikalienversorgung-Anwendungen (ALPACA)

Motivation
Die fortschreitende Miniaturisierung und zunehmende Komplexität von Bauelementen in der Mikroelektronik erfordern kontinuierlich neue Lösungen in der Materialbearbeitung. Für neuartige spintronische Bauteile, die in Sensoren und Speichern Anwendung finden, ist eine präzise Strukturierung von metallischen Multilagenstapeln entscheidend. Eine neu zu entwickelnde Anlagentechnologie bietet die Möglichkeit, den Produktionsprozess zu vereinfachen und dabei sowohl Kosten als auch Platzbedarf signifikant zu reduzieren.

Ziele und Vorgehen
Ziel des KMU-innovativ Projekts ALPACA ist die Weiterentwicklung einer innovativen Anlagentechnologie, die eine effiziente und präzise Atomlagenbearbeitung ermöglicht. Dabei wird die Integration aktuell auf verschiedene Anlagen verteilter physikalischer und chemischer Prozesse in einer einzigen, flexiblen Anlage angestrebt. Ein flexibles System zur Versorgung mit unterschiedlichen Ätz- und Abscheidechemikalien in einer hochreinen Vakuum-Plasmaprozesskammer wird entwickelt, das sich an die jeweiligen Materialanforderungen anpassen lässt und eine gezielte Strukturierung der metallischen Schichten ermöglicht.

Innovationen und Perspektiven
Die Technologieentwicklung im Rahmen des Projekts ALPACA, insbesondere die Integration in einer einzigen flexiblen Anlage, stellt eine signifikante Verbesserung zum aktuellen Stand der Technologie dar. Durch die Reduktion der benötigten Anlagenfläche, die Verringerung der Produktionsschritte und den reduzierten Ausstoß von Prozessnebenprodukten wird eine wesentliche Kostensenkung und Effizienzsteigerung in der Herstellung hochfunktionaler Bauelemente für z.B. die Telekommunikation oder von Elektronikbauteilen für die Automobilindustrie erreicht. Die entwickelten Verfahren und die Anlagentechnik eröffnen weitreichende Anwendungsmöglichkeiten auch in der Halbleiterfertigung, Photonik und Nanotechnologie.

• Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein
• Sentech Instruments GmbH