Projektakronym:
IONENPLAN
KMU-innovativ Erforschung einer Ionenstrahlplanarisierungstechnologie zur Rauheitsverbesserung von diamant-gedrehten bzw. gefrästen NiP-Oberflächen mit Rauheiten im Ångström-rms-Bereich (IONENPLAN)
Laufzeit:
01.05.2020 - 31.10.2022